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晶元表面分析仪

晶元表面分析仪

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产品名称: 晶元表面分析仪

英文名称:

产品编号: Pioneer300series

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产品产地: 韩国

品牌商标:

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北京中油高盛环保技术有限公司
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1、The Pioneer 300 Wafer Surface Analysis System
(晶元表面分析仪)是专门为300毫米半导体晶元处理过
程的质量控制而设计的。
 2、Pioneer 300提供在晶元表面上粘连,清理及表面处
理中的快速和准确接触角/面能的测量。
 3、抗静电材料在Pioneer 300上的使用使其十分适合于
半导体应用。其内壁被特别设计来防止粒子形成或毒化使
该系统可被用于追踪硅晶元超净表面处理。
 4、样品状态的位置被电脑控制并且可被沿X,Y,Z轴
准确较调,用户可容易控制状态的位置以允许晶元表面映
射。仪器通过PC使用微泵来控制液滴准确及可重现地形成
及应用。
 5、所有这些保证可重现的液滴体积可用于表面。